3D量測|Alicona Tech News
Alicona3D粗糙度檢測
過往粗糙度檢測常是藉由輪廓儀對物體表面進行刮線檢測,然而這種方式存在許多問題,Bruker Alicona則利用焦距變化(Focus Variation)的技術進行3D的形面及粗糙度掃描,記錄下表面上的三維資訊,使其能更快速、更準確地檢測表面粗糙度。
量測原理
快速且精確地紀錄下物體的表面資訊,是在3D檢測非常重要的要素。
Bruker Alicona的變焦技術,利用彩色CCD Camera配合Z軸的位移,如同斷層掃描般地在各個Z軸的位置擷取最高品質的影像資訊,透過軟體計算將影像轉換為3D的點雲資料,快速掃描並記錄下樣品表面資訊,可同時檢測表面的粗糙度及形面資訊,並可重複檢測已記錄過的表面,提高量測的重複性。
Alicona 3D粗糙度量測特性
A、非接觸式量測
以往的粗糙度檢測多為使用輪廓儀在樣品表面刮出一條線做2D的粗糙度量測。這在量測上往往會有許多限制或缺陷,如:
- 探針的磨損
- 檢測長度的限制
- 量測產生的刮痕
- 無法量測有黏性的樣品
- 觸針頂端尺寸限制
- 量測重複性低
而Alicona使用光學式的非接觸量測,不但可以避免以上的問題,還能利用光學式的原理進行大範圍的量測,提供更詳細及龐大的數據資料。
B、面粗糙度檢測
過往輪廓儀檢測粗糙度是屬於2D的線粗糙度,然而以單一的輪廓線去判斷整個平面的粗糙度往往會有誤判的情況。面粗糙檢測是光學式3D粗糙度檢測的特點,透過快速且大範圍的掃瞄,記錄下樣品表面上的資訊,並對整個表面進行粗糙度的檢測分析,更準確地反映出樣品表面粗糙度的實際情況。
C、形面去除(Form removal)
在量測樣品粗糙度時,遇到最大的問題莫過於粗糙度數據被樣品形面的資訊影響,如量測圓柱形樣品或曲面變化較大的平面時。在Alicona的檢測功能中可將表面上的形面數據去除,僅保留粗糙度資訊,幫助使用者更準確地檢測行面上的粗糙度。
Bruker Alicona長期致力於微觀檢測,透過光學掃描的方式,取得龐大的數據,改善了以往輪廓儀取樣不足的缺點,並能配合後端軟體的運算,去除形面,保留粗糙度資訊,克服輪廓儀在形面上數據失準的狀況,使得Bruker Alicona在粗糙度檢測的應用更加廣泛。